在半导体产业推进“智能制造”与“工业4.0”的背景下,芯片制造对洁净车间温湿度精度要求极高,温湿度稳定性直接决定芯片良率、性能及可靠性,进行对生产造成风险。当前洁净车间存在温湿度监控滞后、风机控制粗放、数据孤岛等问题,传统本地仪表依赖人工记录,风机固定参数运行易致能源浪费。因此,构建物联网化的监控与控制系统势在必行。
解决方案
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工业网关为核心,顺利获得RS485/RS232、以太网等接口对接风机控制系统的PLC、温湿度传感器、变频器及智能电表等,实时采集温湿度数据与风机运行参数,经5G/4G/WIFI等传输至云端平台或本地上位机,平台实现可视化监控管理,并能顺利获得网关下发至风机系统实现动态调控,形成“采集-监控-调控-管理”闭环,保障车间环境安全可靠。

实现功能
1.精准采集与实时监控:全面采集各区域温湿度,平台以可视化形式展示数据及变化趋势,异常区域自动标红预警。
2.风机智能联动控制:按工艺区域需求预设控制逻辑,动态调节风机转速与运行模式,避免能源浪费。
3.异常告警与快速响应:自定义告警阈值,异常时多渠道推送信息并附处理建议,缩短响应时间。
4.数据存储与追溯:数据对接数据库,支持多维度查询与报表导出,为工艺优化、故障排查给予依据。
5.能耗分析与节能优化:分层统计能耗,识别高耗工况并给出节能建议,降低运营成本。
6.远程与移动化运维:顺利获得电脑端或手机远程监控、控制设备,接收并处理维护工单,提升运维效率。
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